A,漏率的定義和單位

對于一個體積V容器,單位時間Δt內(nèi)壓力的變化量ΔP與該容器體積V的乘積就是漏率:

Q=V*ΔP/Δt

漏率的常用單位:Pa. m3/s, mbar.L/s,  Torr.L/s

漏率其實反應(yīng)的是在一定時間內(nèi)泄露的氣體分子的數(shù)量,嚴(yán)格的講,沒有泄露的系統(tǒng)是不

存在的。檢漏的目的在于:將漏率控制在一個可以接受的,不影響系統(tǒng)正常運(yùn)行的程度。

B,幾種檢漏的方法及應(yīng)用

(1)氣泡法檢漏

將打壓后的被測件浸在水槽里,或者采用肥皂泡法,氣泡可以反應(yīng)漏率的大小,此方法通常用來檢測一些小物品。例如:工藝氣瓶的檢漏、布?xì)獍宓臋z漏、磁控靶體的檢漏,弧源水冷座的檢漏,真空室水冷套的檢漏等,雖然不能定量的檢測出漏率的大小,但是判斷是否存在漏點,是一種非常簡易而又有效的檢漏方法。

(2)壓降法檢漏

將待測件加上正壓或者抽真空到一定壓力,然后關(guān)閉閥門,通過真空計觀察單位時間內(nèi)的壓力變化。采用抽真空的壓降法可以作為對漏率大小的評估。漏率檢測作為一項非常重要的技術(shù)指標(biāo),可作為設(shè)備驗收的一項標(biāo)準(zhǔn)。

(3)氣體檢測法檢漏

氣體檢測法可分為:氨氣檢漏法、鹵素檢漏法和氦質(zhì)譜檢漏法,其中較為常用和普遍的是氦質(zhì)譜檢漏法。氦氣和其他氣體相比有很多優(yōu)點,例如:不能燃燒、無毒、價格適當(dāng)、很輕、化學(xué)性質(zhì)不活潑、氣體分子小等。


使用檢漏儀的注意事項:

掌握適當(dāng)?shù)膰姎鈺r間

檢漏的次序.從上往下、由遠(yuǎn)及近噴吹

使用前要進(jìn)行校準(zhǔn)

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